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力士樂在半導(dǎo)體行業(yè)的解決方案

在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域,力士樂提供了世界上最全面的傳動與控制元件,包括電子傳動與控制,氣動及線型傳動與組裝技術(shù)。模塊化的設(shè)計理念大大地簡化了客戶的開發(fā)工作,使您能更快地將產(chǎn)品推向市場。

針對半導(dǎo)體工業(yè)的特殊工藝,我們有一整套卓越的解決方案,包括用于實現(xiàn)晶圓加工所需的平滑運動、以非接觸方式輸送物料、納米級的定位精度等等。

我們遍布全球的銷售與技術(shù)支持團(tuán)隊具有豐富的實踐經(jīng)驗。我們將竭誠為您服務(wù),是您最可信賴的合作伙伴。

應(yīng)用:晶圓搬運

高剛度,無過沖,無間隙:力士樂晶圓裝卸解決方案的設(shè)計,完美地實現(xiàn)了高頻 響的伺服驅(qū)動器、高剛度的線性子系統(tǒng)及氣動執(zhí)行器之間的協(xié)調(diào)一致。力士樂NYCe 4000運動控制系統(tǒng),可降低機(jī)器總體花費得利于小巧精悍的機(jī)身。模塊化的機(jī)器,整合低板,甚中可以在沒有硬件的情況 下,通過模擬環(huán)境測試自己的軟件,不必等到硬件安裝就緒即可繼續(xù)程序的開發(fā)。

應(yīng)用要求:

無振動平滑運動

精確定位

高速運動

結(jié)構(gòu)緊湊,節(jié)省空間

解決方案:

NYCe4000專為半導(dǎo)體工業(yè)開發(fā)的高精度運動控制系統(tǒng)

同步伺服電機(jī)/直線電機(jī)/步進(jìn)電機(jī)

滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向系統(tǒng)

微型氣動閥LS04

優(yōu)點:

高階曲線算法使運動極其平滑

高動態(tài)響應(yīng)的驅(qū)動系統(tǒng)確保運動的穩(wěn)定性

模塊化的組件簡化了產(chǎn)品設(shè)計,提高了您的開發(fā)效率

力士樂提供全套解決方案,包括電控及機(jī)械部件,方便您的采購和維護(hù)。

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